A femtoszekundomos lézer kiválóan alkalmas szilárdanyagok felületi kezelésére. A lézerrel történő besugárzás hatására a felületen különböző típusú felszínistruktúrák hozhatók létre. Jelen kutatás során szilícium egykristályon létrehozott különböző nano- ésmikrométeres nagyságrendbe eső morfológiájú felületeket mutatunk be, lehetséges alkalmazásainakismertetésével. Kiválasztva néhány adott struktúrát,visszaszórt elektrondiffrakcióval és spektroszkópiaiellipszométerrel határoztuk meg szerkezetét, majdaz eredményeket összefoglalva további vizsgálatimódszerként mikrokeménység mérést és pásztázóalagút mikroszkópos mérést tűztünk ki célul.
